高温 MEMS 振荡器

来自 SiTime Corporation 的高温振荡器是现场可编程器件，提供各种频率。可提供工业和汽车温度，以及小至 2.0 mm x 1.6 mm 的封装类型选项。与石英的基底面兼容性允许简单的互换性。这些设备还具有振动灵敏度以及抗冲击和振动性能。SOT-23 器件还可用于板级焊点可靠性和低成本、纯光学板级检测。

工业设备易受振动、冲击和高温影响。对于石英定时设备而言，这是一个充满挑战的环境，但它是 SiTime MEMS 定时解决方案的理想环境，因为它们的设计性能比替代设备更好、寿命更长。SiTime 的 MEMS 振荡器包括一个 MEMS 谐振器和一个可编程模拟电路。kHz MEMS 谐振器采用 SiTime 独特的 MEMS First™ 工艺。关键制造步骤是 EpiSeal™，在此期间 MEMS 谐振器的退火温度超过 +1000°C。EpiSeal 创造了一个极其牢固、干净的真空室来封装 MEMS 谐振器，可确保最佳的性能和可靠性。