Sensirion

SFC6000D/SFM6000D 质量流量控制器和仪表

Sensirion 的高精度流量传感器在单个芯片上结合了精密传感器元件和信号处理

Sensirion SFC6000D/SFM6000D 质量流量控制器和仪表图片SFC6000D 和 SFM6000D 产品的核心是无与伦比的 Sensirion CMOSens® 技术。它将高精度传感器元件与最先进的信号处理技术结合在单个芯片上，从而提供经过精确校准和温度补偿的信号。得益于这种传感器技术，Sensirion 的流量计和控制器以极具吸引力的系统成本实现了无与伦比的速度、准确性和可重复性。由于 CMOSens 芯片具有出色的长期稳定性，因此无需重新校准。

SFC6000D 提供超快的稳定时间和高控制范围。SFC6000D 和 SFM6000D 已针对多种气体进行工厂校准，它们在机械连接器方面具有高度灵活性，可以与现成的组件互换。

SFC6000D 和 SFM6000D 的高性能和低成本使其成为广泛应用的最佳选择，例如气体冲洗、FOUP、分析仪器、涂层和医疗设备、过程自动化和气体混合等。

特性
  • 塑料机身与高度集成电子产品相结合的颠覆性概念
  • 体积小，重量轻
  • 高精度/可重复性（设定点的 2%/0.2%）
  • 宽控制范围 (500:1)
  • 超快稳定时间 (100 ms)
 
  • RS485 和 I²C 数字接口
  • 可更换的 6 mm 推入式和下装式连接器
  • NIST 可溯源校准
  • 无需漂移，无需现场重新校准

SFC6000D Mass Flow Controllers and Meters

图片制造商零件编号描述感应范围可供货数量价格查看详情
MFC MASS FLOW CONTROLLER GASSFC6000D-20SLMMFC MASS FLOW CONTROLLER GAS20 SLM9 - 立即发货$3,970.14查看详情
MFC MASS FLOW CONTROLLER GASSFC6000D-5SLMMFC MASS FLOW CONTROLLER GAS5 SLM19 - 立即发货$3,954.13查看详情
MFC MASS FLOW CONTROLLER GASSFC6000D-50SLMMFC MASS FLOW CONTROLLER GAS50 SLM13 - 立即发货$3,970.14查看详情

SFM6000D Mass Flow Controllers and Meters

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MFM MASS FLOW METER GASSFM6000D-50SLMMFM MASS FLOW METER GAS50 SLM5 - 立即发货$2,593.03查看详情
MFM MASS FLOW METER GASSFM6000D-5SLMMFM MASS FLOW METER GAS5 SLM7 - 立即发货$2,593.03查看详情
MFM MASS FLOW METER GASSFM6000D-20SLMMFM MASS FLOW METER GAS20 SLM4 - 立即发货$2,593.03查看详情

Evaluation Kit

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EVAL KIT SFC/SFM FLOW PRODUCTSEK-F5X SFC/SFM6XXX AND SFC/SFM5XXXEVAL KIT SFC/SFM FLOW PRODUCTS14 - 立即发货$1,530.66查看详情
发布日期： 2023-02-22