SCHA63T MEMS 传感器

Murata 的 SCHA63T 是一种单封装工业 6DoF（自由度）组件，具有适用于低成本微机电系统 (MEMS) 解决方案的高性能。具有这种惯性传感器性能水平的传感器通常只能在昂贵的高端惯性测量单元 (IMU) 模块上使用，这使得工业和农业应用获得所需精度和准确度的成本很高。该传感器可在恶劣环境中实现厘米级的机器动力学和位置感测精度。它采用 Murata 久经考验的电容式 3D-MEMS 技术制成，可高精度地准确感测 XYZ 轴上的 ±6 g 加速度和 XYZ 轴上的 ±300°/s 或 ±125°/s 角速率。陀螺仪在出厂时经过交叉轴校准，可实现优于 0.25% 的正交误差、低至 1°/h 水平的陀螺仪偏置不稳定性以及 0.0015°/s/√Hz 的低噪声密度水平，以实现稳定的系统。

从 MEMS 传感器接收到的所有信号都通过两个使用灵活 SPI 数字接口的混合信号专用集成电路 (ASIC) 进行处理。传感元件和 ASIC 封装到符合 RoHS 标准的预成型 19.71 mm x 12.15 mm x 4.6 mm (lxwxh) SOIC 32 引脚塑料外壳设计中，可确保在产品的整个生命周期内可靠运行，保障了安全、稳健和经验证的设计。SCHA63T 非常适合安全关键型应用，因为它在 MEMS 和定制 ASIC 中集成了广泛的自诊断功能。此外，三个传感器中的两个在 −40°C 至 +110°C 的整个温度范围内具有出色的线性度、振动性能、稳定的偏移和灵敏度。SCHA63T 可以帮助确保安全、稳健和经过验证的设计。